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晶圆加工工艺流程有哪些?
文章来源:骅飞科技XRAY 发布时间: 2022-11-02
晶圆的原材料来源于沙子

前面我们讲到国产晶圆制造商,今天我们主要聊聊晶圆是怎样加工制造出来的,通过一个流程的细化,让我们对晶圆有一个更好的认识。

  • 第一步,晶圆的原材料来源于沙子,通过脱氧提取沙子中的硅,一般来说脱氧后的沙子是以二氧化硅的形式存在,这也是最原始的晶圆材料。
  • 第二步,将原始的二氧化硅熔化净化,反复作业直到材料的精度满足要求,按目前市场的规范是每100万个硅原子中最多可以混入一个杂质原子,此时的精度非常的纯,又被市场称之为电子级硅EGS。
  • 第三步,熔炼的材料在圆柱形容器内,冷却后即是圆柱形硅锭,纯度达99.9999%,由于精度太高,后面的几个9省不了。
晶圆
  • 第四步,接下来就是切割了,也就是将圆柱形的硅锭进行切片,切成无数薄片,这个时候我们可以称为晶片或硅片。
以上就是生产晶圆的过程,最主要的就是纯度提取,生产晶圆的难度不大,难度大的是生产芯片,这是一个非常复杂的工艺,绝不是靠某一个国家就能完成的事。
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